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鈦鎳鋯濺射靶材的應(yīng)用及發(fā)展前景
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鈦鎳鋯濺射靶材的應(yīng)用及發(fā)展前景

發(fā)布時間 :2022-10-09 23:02:01 瀏覽次數(shù) :

濺射靶材是指通過磁控濺射、多弧離子鍍或其他類型的鍍膜設(shè)備在適當(dāng)工藝條件下濺射沉積在基板上形成各種功能薄膜的濺射源。濺射靶材廣泛應(yīng)用于裝飾、工模具、玻璃、電子器件、半導(dǎo)體、磁記錄、平面顯示、太陽能電池等眾多領(lǐng)域,不同領(lǐng)域需要的靶材各不相同。濺射靶材根據(jù)成分可以分為純金屬靶材、合金靶材、氧化物靶材、硅化物靶材等多個品種;根據(jù)生產(chǎn)方法可以分為粉末靶、熔煉靶和噴涂靶;按照形狀可以分為平面靶材和管狀靶材,平面靶材又可以分為矩形靶和圓弧靶,圖1展示了幾種不同形狀的濺射靶材。

靶材

一、廣泛的應(yīng)用前景和巨大的市場潛力

近年來,隨著電鍍和化學(xué)鍍等傳統(tǒng)表面改性技術(shù)的局限性日益突出,以物理氣相沉積(PVD)和化學(xué)氣相沉積(CVD)為主要工藝方法的真空鍍膜技術(shù)取得了突飛猛進(jìn)的發(fā)展,其中PVD制備過程所需要的濺射靶材市場需求量日趨旺盛。據(jù)統(tǒng)計,全球范圍內(nèi)靶材的市場需求量每年以20%的速度增長,中國作為全球制造業(yè)大國,其靶材的市場需求量更是每年以超過30%的速度增長。若不計貴金屬靶材,保守估計目前每年各領(lǐng)域所需要的靶材總量價值約100億元人民幣左右。

1、裝飾鍍膜

裝飾鍍膜主要是指手機(jī)、手表、眼鏡、衛(wèi)生潔具、五金零件等產(chǎn)品的表面鍍膜,不僅起到美化色彩的作用,同時也具有耐磨、耐蝕等功能。人民生活水平的不斷提高,要求越來越多的日常用品進(jìn)行裝飾性鍍膜,因此裝飾鍍膜用靶材的需求量日益擴(kuò)大。裝飾鍍膜用靶材主要品種有:鉻(Cr)靶、鈦(Ti)靶、鋯(Zr)、鎳(Ni)、鎢(W)、鈦鋁(TiA1)、不銹鋼靶等。

2、工模具鍍膜

工模具鍍膜主要是用于工具、模具的表面強(qiáng)化,能顯著提高工具、模具的使用壽命和被加工零件的質(zhì)量。近年來,在航空航天和汽車產(chǎn)業(yè)發(fā)展的帶動下,全球制造業(yè)的技術(shù)水平和生產(chǎn)效率有了長足進(jìn)步,對高性能刀具、模具的需求量日益增加。目前,全球工模具鍍膜市場主要在歐美和日本。據(jù)統(tǒng)計,發(fā)達(dá)國家機(jī)加工用刀具的鍍膜比例已超過90% 。我國刀具鍍膜比例也在不斷提升,刀具鍍膜用靶材的需求量日益擴(kuò)大。工模具鍍膜用靶材主要品種有:TiAl靶、鉻鋁(CrA1)靶、Cr靶、Ti靶等。

3、玻璃鍍膜

靶材在玻璃上的應(yīng)用主要是制作低輻射鍍膜玻璃,即利用磁控濺射原理在玻璃上濺射多層薄膜,以達(dá)到節(jié)能、控光、裝飾的作用。低輻射鍍膜玻璃又稱節(jié)能玻璃,近年來,隨著節(jié)能減排和改善人們生活質(zhì)量需求的增加,傳統(tǒng)的建筑玻璃正逐漸被節(jié)能玻璃所取代。正是在這種市場需求的推動下,目前幾乎所有的大型玻璃深加工企業(yè)都在快速增加鍍膜玻璃生產(chǎn)線。與此相對應(yīng),鍍膜用靶材的需求量快速增長,靶材主要品種有:銀(ag)靶、Cr靶、Ti靶、鎳鉻(NiCr)靶、鋅錫(ZnSn)靶、硅鋁(Sia1)靶、氧化鈦(Ti O )靶等。

靶材在玻璃上的另一個重要應(yīng)用是制備汽車后視鏡,主要是鉻靶、鋁靶、氧化鈦靶等。隨著汽車后視鏡檔次要求的不斷提高,很多企業(yè)紛紛從原來的鍍鋁工藝轉(zhuǎn)成真空濺射鍍鉻工藝。

4、電子器件鍍膜

電子器件鍍膜主要用于薄膜電阻和薄膜電容。薄膜電阻可以提供10~1000M Q電阻,而且電阻溫度系數(shù)小、穩(wěn)定性好,可以有效減小器件的尺寸。

薄膜電阻用靶材有NiCr靶、鎳鉻硅(NiCrSi)靶、鉻硅(CrSi)靶、鉭(Ta)靶、鎳鉻鋁(NiCrA1)靶等。

5、磁記錄鍍膜

21世紀(jì)是經(jīng)濟(jì)信息化、信息數(shù)字化的高科技時代。信息超高密度儲存和高速傳輸?shù)囊螅苿有畔⒏呒夹g(shù)的進(jìn)一步發(fā)展。先進(jìn)的電子計算機(jī)和獲取、處理、存儲、傳遞各種信息的自動化設(shè)備都需要儲存器,信息存儲包括磁信息存儲、磁光信息存儲和全光信息存儲等。磁存儲器如磁盤、磁頭、磁鼓、磁帶等是利用磁性材料的鐵磁特性實現(xiàn)信息存儲的。濺射薄膜記錄用的靶材包括C r基、鈷(CO)基、鈷鐵(CoFe)基、Ni基等合金。

6、平面顯示鍍膜

便攜式個人計算機(jī)、電視、手機(jī)等對平板顯示器件需求急劇增長的刺激,極大地促進(jìn)了各類平板顯示器件的發(fā)展。平板顯示器種類有:液晶顯示器件(LCD)、等離子體顯示器件(PDP)、薄膜晶體管液晶平板顯示器(TFT—LCD)等。所有這些平板顯示器件都要用到各種類型的薄膜,沒有薄膜技術(shù)就沒有平板顯示器件。平板顯示器多由金屬電極、透明導(dǎo)電極、絕緣層、發(fā)光層組成,為了保證大面積膜層的均勻性,提高生產(chǎn)率和降低成本,濺射技術(shù)越來越多地被用來制備這些膜層。平面顯示鍍膜用靶材主要品種有:Cr靶、鉬(Mo)靶、Al靶、鋁合金靶,銅(CU)靶、銅合金和摻錫氧化銦(IT0)靶材等。

7、半導(dǎo)體鍍膜

信息技術(shù)的飛速發(fā)展,要求集成電路的集成度越來越高,電路中單元器件尺寸不斷縮小,元件尺寸由毫米級到微米級,再到納米級。每個單元器件內(nèi)部由襯底、絕緣層、介質(zhì)層、導(dǎo)體層及保護(hù)層等組成,其中,介質(zhì)層、導(dǎo)體層甚至保護(hù)層都要用到濺射鍍膜工藝,因此濺射靶材是制備集成電路的核心材料之一。半導(dǎo)體鍍膜用靶材主要品種有w、鎢鈦(wTi)、Ti、Ta、A1、Cu等,要求靶材純度很高,一般在4N或5N以上,因此半導(dǎo)體鍍膜用靶材價格昂貴。

8、太陽能電池鍍膜

隨著傳統(tǒng)石化燃料能源的日益減少,全世界都把目光投向了可再生能源,太陽能以其獨有的優(yōu)勢成為人們重視的焦點,主要是把太陽光能轉(zhuǎn)換為熱能和電能。其中光一電轉(zhuǎn)換是通過光電效應(yīng)直接把光能轉(zhuǎn)換成電能的太陽能電池來完成,目前,太陽能電池已經(jīng)發(fā)展到了第三代。第一代是單晶硅太陽能電池,第二代是非晶硅和多晶硅太陽能電池,第三代是薄膜太陽能電池(銅銦鎵硒[C IGs]為代表),而濺射鍍膜工藝是被優(yōu)先選用的制備方法。全球低碳經(jīng)濟(jì)的興起,為新能源、新材料的發(fā)展提供了廣闊前景,全球各大靶材供應(yīng)商都將太陽能電池鍍膜用靶材作為重要的研發(fā)產(chǎn)品,太陽能電池鍍膜正以爆炸式的方式增長。以2005年太陽能電池裝機(jī)量為基準(zhǔn),年遞增率分別為23%、40%、67%預(yù)估,至2016年每年太陽能電池的裝機(jī)量如圖2所示。太陽能電池鍍膜用靶材主要品種有:氧化鋅鋁(AzO)靶、氧化鋅(ZnO)靶、鋅鋁(ZnA1)靶、鉬(Mo)靶、硫化鎘(CdS)靶、銅銦鎵硒(CulnGaSe)等。

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二、 國外濺射靶材的發(fā)展?fàn)顩r

濺射鍍膜技術(shù)起源于國外,所需要的濺射材料—— 靶材也起源發(fā)展于國外。靶材因其應(yīng)用性較強(qiáng),研制生產(chǎn)集中在國外的靶材公司,表1列舉了全球濺射靶材的主要制造商。國外知名的公司技術(shù)力量很強(qiáng),產(chǎn)品質(zhì)量過硬,生產(chǎn)品管控制嚴(yán)格,這些企業(yè)在技術(shù)垂直整合上做得極其完備,從鍍膜靶材制造到薄膜元件制造都是其技術(shù)垂直整合的方向,既生產(chǎn)鍍膜靶材,也積極拓展靶材在各種不同鍍膜方面的應(yīng)用市場。到目前為止,國外知名靶材公司,在靶材研發(fā)生產(chǎn)方面已有幾十年的積淀。日本、美國和德國是世界上鍍膜靶材制造的先導(dǎo)國家,據(jù)統(tǒng)計從1990年到1998年之間,世界各國在美國申請的靶材專利數(shù)量中,日本占58%、美國為27%、德國為11%。國外知名靶材公司引領(lǐng)著國際靶材技術(shù)方向,也占據(jù)著世界大部分靶材市場。

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濺射靶材的制備工藝主要包括熔煉鑄造法和粉末燒結(jié)法,圖3展示了濺射靶材生產(chǎn)工藝流程。常用的熔煉方法有真空感應(yīng)熔煉、真空電弧熔煉和真空電子轟擊熔煉等。與粉末法制備的合金相比,熔煉合金靶材的雜質(zhì)含量(特別是氣體雜質(zhì)含量)低,且能高密度化、大型化。但是,對于熔點和密度相差都很大的2種或2種以上金屬,采用普通的熔煉法一般難以獲得成分均勻的合金靶 材。而粉末冶金工藝具有容易獲得均勻細(xì)晶結(jié)構(gòu)、節(jié)約原材料、生產(chǎn)效率高等優(yōu)點,粉末冶金法制備靶材時,其關(guān)鍵在于選擇高純、超細(xì)粉末作為原料;選擇能實現(xiàn)快速致密化的成形燒結(jié)技術(shù),以保證靶材的低孔隙率,并控制晶粒度;制備過程嚴(yán)格控制雜質(zhì)元素的引入。常用的粉末冶金工藝包括熱壓、真空熱壓和熱等靜壓(HIP)等。新型合金靶材的開發(fā),往往需要研制一些特殊工藝,如半熔融燒結(jié)法和還原擴(kuò)散法以及噴霧成形法等,圖4是日本神戶特制鋼所噴霧成形裝置示意圖。

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三、我國濺射靶材的現(xiàn)狀與問題

1、現(xiàn)狀

濺射靶材在我國是一個較新的行業(yè),從這個行業(yè)興起至今,我國濺射靶材的技術(shù)及市場方面都取得了長足進(jìn)步。從技術(shù)角度看,我國鍍膜研究起步于20世紀(jì)60年代,為發(fā)展膜科技,國家計委、國家科委、國家自然科學(xué)基金委及地方政府相關(guān)部門從戰(zhàn)略高度持續(xù)地支持鍍膜及所用材料的發(fā)展,積淀了相應(yīng)的科學(xué)技術(shù),我國已成功開發(fā)出不同領(lǐng)域應(yīng)用的靶材,創(chuàng)造了良好的靶材研發(fā)基礎(chǔ)和產(chǎn)業(yè)化條件,并形成了一些產(chǎn)業(yè)。例如,在裝飾行業(yè)用的Cr、Ti、Zr、TiAl等靶材,工具鍍膜用的TiAl靶、Cr靶、Ti靶等,玻璃鍍膜用的Cr靶、Ti靶、NiCr靶。從市場角度看,近年來,隨著鍍膜領(lǐng)域的飛速發(fā)展,大型合資或獨資靶材企業(yè)在我國大量涌現(xiàn),表2列舉了我國主要的濺射靶材制造商。中國已逐漸成為世界上靶材的最大需求地與使用地之一,特別是在工模具、玻璃、磁記錄、平面顯示、半導(dǎo)體和太陽能等高端領(lǐng)域,如模具、高性能刀具、低輻射鍍膜玻璃、磁記錄存儲、平面顯示器、半導(dǎo)體集成電路、太陽能薄膜電池方面等。

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2、存在的問題

與國際靶材公司相比,我國靶材企業(yè)起步較晚;同國際靶材先進(jìn)的水平相比,我國靶材技術(shù)與產(chǎn)業(yè)水平還存在較大的差距。雖然我國各種小靶材公司很多,但還沒有一個專業(yè)化并有一定規(guī)模的靶材公司在全球高端靶材市場占有一席之地。目前,工模具、玻璃、磁記錄、平面顯示、半導(dǎo)體、太陽能等高端應(yīng)用市場,還主要被歐美或日本的靶材公司所壟斷。靶材的產(chǎn)品特點是多品種、小批量、生產(chǎn)周期長,產(chǎn)品發(fā)展趨勢是向著更高純度、更高密度、更大尺寸的方向發(fā)展。因此,靶材生產(chǎn)商要有相當(dāng)?shù)牟牧蟿?chuàng)新開發(fā)能力,來研發(fā)各種各樣的靶材產(chǎn)品。我國靶材公司大多發(fā)展時間很短,創(chuàng)新能力難以滿足靶材的迅速發(fā)展及變化需求,技術(shù)問題、人才問題、國際競爭問題都限制了產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,影響了布局的拓展。

首先,在技術(shù)方面,我國濺射靶材企業(yè)在產(chǎn)品品種、制備工藝、應(yīng)用等方面都面臨巨大挑戰(zhàn)。市場的快速發(fā)展,對產(chǎn)品品種要求越來越多,更新?lián)Q代也越來越快,對傳統(tǒng)工藝也提出更高要求,需要引人新工藝制備靶材,最終解決尺寸、平整度、純度、雜質(zhì)含量、密度、氮/氧/碳/硫(N/O/C/S)、晶粒尺寸與缺陷控制、表面粗糙度、電阻值、異物(氧化物)含量與尺寸、導(dǎo)磁率等問題。在應(yīng)用方面,靶材利用率需要得到提高;此外,還需要解決濺射過程中微粒飛濺的問題。如圖5濺射靶材生產(chǎn)示意圖所示,濺射過程中濺射靶受轟擊時,由于靶材內(nèi)部孔隙內(nèi)存的氣體突然釋放,有可能會造成大尺寸的靶材顆?;蛭⒘ow濺,成膜之后膜材受二次電子轟擊時也可能會造成微粒飛濺。這些飛濺微粒的出現(xiàn),會降低薄膜品質(zhì),所以微粒飛濺的問題需 要得到解決。

其次,我國濺射靶材產(chǎn)業(yè)發(fā)展時間短,人才積累不足。面對強(qiáng)大的國際競爭,濺射靶材產(chǎn)業(yè)尤顯專業(yè)人才匱乏。靶材的研制主要是在企業(yè)內(nèi)實施,各靶材公司為在競爭中取得優(yōu)勢,技術(shù)均高度保密,所以該行業(yè)專業(yè)化很強(qiáng),人才選擇局限于為數(shù)不多的靶材公司內(nèi)部。高校及科研院所開展濺射靶材基礎(chǔ)研究及應(yīng)用研究較少,時間也較短,研究力度也沒有靶材公司深入,因此培養(yǎng)的人才無論是在數(shù)量上還是水平上都略顯不足。

再次,我國濺射靶材業(yè)面臨的市場競爭日益激烈。國外企業(yè)的成本較高,這為中國制造的靶材提供了良好的進(jìn)入國際市場的機(jī)會;但是隨著全球制造中心向中國的轉(zhuǎn)移,國外靶材供應(yīng)商考慮到價格較高和交期較長的影響,他們希望靶材本土化供應(yīng),紛紛在中國建立加工廠,一方面在國際競爭中保持及提高優(yōu)勢,另一方面搶占中國市場,這就使得國內(nèi)靶材業(yè)面臨更激烈的競爭。

四、提高我國濺射靶材產(chǎn)業(yè)競爭力的對策和建議

我國濺射靶材產(chǎn)業(yè)要增強(qiáng)核心競爭力,需要加強(qiáng)基礎(chǔ)研究和應(yīng)用研究,重視人才培養(yǎng)、得到政策支持。

1、基礎(chǔ)研究和應(yīng)用研究方面

迎接濺射靶材巨大產(chǎn)業(yè)化機(jī)遇,縮小國內(nèi)外濺射靶材的差距,首先需在產(chǎn)品、工藝、應(yīng)用上突破技術(shù)瓶頸。

但作為新興的蓬勃發(fā)展的靶材產(chǎn)業(yè)及真空鍍膜產(chǎn)業(yè),必然會遇到各種各樣的科學(xué)技術(shù)難題。攻克靶材產(chǎn)業(yè)及真空鍍膜產(chǎn)業(yè)發(fā)展過程中遇到的科學(xué)技術(shù)難題,可以采用自主研發(fā)和國外引進(jìn)相結(jié)合的方法。但由于靶材產(chǎn)業(yè)及真空鍍膜產(chǎn)業(yè)科學(xué)技術(shù)更新?lián)Q代較快,國外對核心科學(xué)技術(shù)設(shè)置技術(shù)壁壘,引進(jìn)難度很大;另外國內(nèi)外設(shè)備、技術(shù)、人員情況有或多或少的差異,引進(jìn)的科學(xué)技術(shù)也不能完全照搬,必須經(jīng)過消化、吸收才能轉(zhuǎn)化成適用的技術(shù)。這就需要一個平臺,增加研發(fā)投入及支持力度,凝聚一批專家,通過堅持不懈的研究努力,創(chuàng)造出切實可行、經(jīng) 濟(jì)適用的材料解決方案。

研制靶材,既要重視應(yīng)用研究,也要重視基礎(chǔ)研究。沒有應(yīng)用研究就沒有產(chǎn)出,就不能創(chuàng)造效益,因此在企業(yè)內(nèi)需要加強(qiáng)應(yīng)用研究的力度?;A(chǔ)研究取得成果所需周期較長,且不能直接帶來經(jīng)濟(jì)效益,難以滿足企業(yè)要求見效快、追逐利潤的目標(biāo)。但如果缺乏基礎(chǔ)研究,應(yīng)用研究的發(fā)展就會遇到一定的研發(fā)瓶頸,從而限制應(yīng)用研究的發(fā)展。這就需要國家及地方給予扶持,資助企業(yè)建立靶材重點實驗室,搭建專業(yè)化研發(fā)平臺,集中優(yōu)勢資源,保障研發(fā)資源專用,產(chǎn)學(xué)研開放合作,積極推進(jìn)科技成果產(chǎn)業(yè)化,使得基礎(chǔ)研究及應(yīng)用研究取得雙豐收。

2、人才方面

企業(yè)競爭關(guān)鍵是人才,為吸引更多人才,在政策上,需要提高靈活性,多種方式并存。為激發(fā)研究人員的積極性,企業(yè)內(nèi)部可以在體制上加強(qiáng)激勵機(jī)制,設(shè)立專門的資金,對作出突出貢獻(xiàn)的科研人員予以獎勵。

3、政策方面

濺射靶材目前最主要的市場在國外,要與國外靶材供應(yīng)商競爭,我國濺射靶材企業(yè)需得到國家在進(jìn)出口政策上的扶持。自金融危機(jī)后,國際貨幣戰(zhàn)日趨激烈,人民幣雖有小幅升值,但升值壓力仍然很大,而美元、歐元等貨幣均有不同程度的貶值,這使得國產(chǎn)靶材的價格優(yōu)勢在降低。在進(jìn)出口政策上,如果國家對靶材產(chǎn)品給予適當(dāng)退稅,鼓勵靶材產(chǎn)品出口,必將加大靶材出口產(chǎn)品的競爭優(yōu)勢,推動靶材產(chǎn)業(yè) 的發(fā)展。

五、濺射靶材行業(yè)的展望

濺射靶材在國際、國內(nèi)市場都呈現(xiàn)出快速增長的勢頭,規(guī)模應(yīng)用和產(chǎn)業(yè)化時代已經(jīng)到來。靶材產(chǎn)業(yè)發(fā)展的趨勢首先是市場分化,技術(shù)含量較低的產(chǎn)品將逐漸面臨更為激烈的競爭。眾多小型靶材公司具有靈活的機(jī)制、低廉的生產(chǎn)成本,這將使得低端靶材市場形成價格戰(zhàn)為主的模式;而靶材在磁記錄、半導(dǎo)體、太陽能等高端產(chǎn)業(yè)的市場,將會繼續(xù)呈現(xiàn)技術(shù)引領(lǐng)的態(tài)勢,國內(nèi)外技術(shù) 先進(jìn)的靶材供應(yīng)商將在競爭中占有絕對優(yōu)勢,鍍膜廠家對靶材供應(yīng)商將具有更強(qiáng)的依賴性。

濺射靶材將會呈現(xiàn)不同應(yīng)用領(lǐng)域發(fā)展不均衡的狀況。在裝飾鍍膜行業(yè),鍍膜廠家產(chǎn)品轉(zhuǎn)型,濺射靶材產(chǎn)能相對飽和,增長空間有限。工具鍍膜行業(yè),國外靶材公司將會穩(wěn)步增長,但速度不會太快;而國內(nèi)靶材公司由于高端鍍膜市場工具鍍膜用靶材處于開發(fā)階段,隨著產(chǎn)品開發(fā)成功,國產(chǎn)靶材的價格優(yōu)勢將會為國內(nèi)靶材廠家贏得一定市場。磁存儲行業(yè),規(guī)模將繼續(xù)擴(kuò)大,磁記錄用靶材也會蓬勃發(fā)展,國際國內(nèi)市場都會有較大增長。半導(dǎo)體行業(yè)所需靶材品種繁多,每一種用量都很大,國外技術(shù)成熟,研發(fā)力量雄厚,將在很長一段時間內(nèi)處于引領(lǐng)地位。太陽能行業(yè)發(fā) 展?jié)摿薮螅磥?~10年內(nèi),將會掀起一場新的綠色能源產(chǎn)業(yè)革命??梢灶A(yù)計,太陽能光伏發(fā)電在不遠(yuǎn)的將來會占據(jù)世界能源消費的重要席位,不但要替代部分常規(guī)能源,而且將成為世界能源供應(yīng)的主體。隨著太陽能行業(yè)進(jìn)一步爆炸式增長,太陽能電池用濺射靶材將會迎來新一輪大規(guī)模增長。

濺射靶材的發(fā)展,將形成技術(shù)與服務(wù)決定企業(yè)成敗的局面。技術(shù)力量雄厚,研發(fā)產(chǎn)品品種多并具有幾種特有產(chǎn)品的靶材公司,會在市場競爭中取得話語權(quán)。規(guī)模的擴(kuò)大,使銷售過程對資金的要求提高,資金占用量加大,周轉(zhuǎn)時間變長,這些都對靶材企業(yè)運營管理提出更高挑戰(zhàn)。鍍膜行業(yè)的擴(kuò)大及發(fā)展,將會使得該行業(yè)競爭愈演愈烈,對靶材供應(yīng)商的產(chǎn)品服務(wù)要求更高。售前售后服務(wù)好的靶材供應(yīng)商,將會受到鍍膜廠家的青睞。

提高濺射靶材利用率也是靶材發(fā)展的趨勢。常規(guī)的長方體形和圓柱體形磁控濺射靶為實心的,是以圓環(huán)形永磁體在靶材表面建立環(huán)形磁場,在軸問等距離的環(huán)形表面形成刻蝕區(qū),因而影響沉積薄膜厚度的均勻性,靶材的利用率僅為20%~30%。國內(nèi)外正在推廣應(yīng)用的旋轉(zhuǎn)圓柱磁控濺射靶是空心圓管,它可圍繞固定的條狀磁鐵組件旋轉(zhuǎn),可360。均勻刻蝕靶面,靶材利用率高達(dá)80%。

隨著低碳經(jīng)濟(jì)的興起,節(jié)能環(huán)保是企業(yè)發(fā)展需要考慮的戰(zhàn)略要素。靶材服務(wù)于節(jié)能環(huán)保行業(yè),就行業(yè)本身而言也需要一個節(jié)能環(huán)保的生產(chǎn)環(huán)境,一方面這是順應(yīng)整個行業(yè)發(fā)展的需求,另一方面也是樹立企業(yè)形象、贏得客戶信心的保障。國內(nèi)現(xiàn)有的小型靶材生產(chǎn)廠,須加以設(shè)備及作業(yè)環(huán)境改造,否則不僅規(guī)模難以發(fā)展起來,甚至還會面臨關(guān)閉的風(fēng)險。

總的來說,靶材行業(yè)前景廣闊。鍍膜產(chǎn)業(yè)的快速擴(kuò)大及市場需求的急劇膨脹,無疑將帶動靶材市場的快速發(fā)展。此外,靶材所屬的新材料領(lǐng)域,目前已經(jīng)得到了國家的高度重視和大力支持。在鍍膜市場需求增多、國家扶持力度加大的情況下,一批靶材企業(yè)將會迅速成長起來,成為靶材行業(yè)的引領(lǐng)者,帶動行業(yè)的發(fā)展,創(chuàng)造可觀的經(jīng)濟(jì)效益和社會效益。

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